Ang target nga kantidad sa paryente nga humidity sa usa ka semiconductor (FAB) nga limpyo nga kwarto

Ang target nga kantidad sa paryente nga humidity sa usa ka semiconductor (FAB) nga limpyo nga kwarto gibana-bana nga 30 hangtod 50%, nga nagtugot sa usa ka pig-ot nga margin sa sayup nga ± 1%, sama sa lithography zone - o bisan gamay sa layo nga pagproseso sa ultraviolet (DUV) zone - samtang sa ubang dapit kini mahimong relaks sa ± 5%.
Tungod kay ang relatibong humidity adunay lainlaing mga hinungdan nga makapakunhod sa kinatibuk-ang paghimo sa mga limpyo nga kwarto, lakip ang:
1. Pagtubo sa bakterya;
2. Sakup sa kaharuhay sa temperatura sa lawak alang sa mga kawani;
3. Ang electrostatic charge makita;
4. Metal corrosion;
5. Tubig alisngaw condensation;
6. Pagkadaot sa lithography;
7. Pagsuyop sa tubig.

Ang bakterya ug uban pang biolohikal nga mga hugaw (mga agup-op, mga virus, fungi, mites) mahimong molambo sa mga palibot nga adunay humidity nga labaw sa 60%. Ang ubang mga komunidad sa bakterya mahimong motubo sa humidity nga labaw sa 30%. Nagtuo ang kompanya nga ang humidity kinahanglan nga kontrolon sa sakup nga 40% hangtod 60%, nga makapamenos sa epekto sa bakterya ug impeksyon sa respiratoryo.

Relatibong humidity sa han-ay sa 40% ngadto sa 60% mao usab ang usa ka kasarangan nga range alang sa kaharuhayan sa tawo. Ang sobra nga humidity makapahimo sa mga tawo nga mobati nga baradong, samtang ang humidity nga ubos sa 30% makahimo sa mga tawo nga mobati nga uga, nabuak ang panit, dili komportable sa respiratoryo ug emosyonal nga kasubo.

Ang taas nga humidity sa tinuud nagpamenos sa pagtipon sa mga electrostatic charge sa ibabaw sa limpyo nga lawak - usa ka gitinguha nga resulta. Ang mubu nga humidity maayo alang sa pagtipon sa singil ug usa ka potensyal nga makadaot nga gigikanan sa electrostatic discharge. Kung ang paryente nga humidity molapas sa 50%, ang mga electrostatic charges magsugod nga mawala dayon, apan kung ang paryente humidity ubos pa sa 30%, mahimo silang magpadayon sa dugay nga panahon sa usa ka insulator o usa ka wala’y yuta nga nawong.

Relatibong humidity sa taliwala sa 35% ug 40% mahimong gamiton ingon nga usa ka makatagbaw nga pagkompromiso, ug semiconductor limpyo nga mga lawak sa kasagaran naggamit dugang nga mga kontrol aron limitahan ang akumulasyon sa electrostatic charges.

Ang katulin sa daghang mga kemikal nga reaksyon, lakip ang mga proseso sa corrosion, motaas uban ang pagtaas sa relatibong humidity. Ang tanan nga mga nawong nga nahayag sa hangin sa palibot sa limpyo nga kwarto dali.